微柱镜面周期性纹理结构衍射杂散光研究
摘要
为分析车床加工百微米级口径微柱透镜时遗留周期性刀纹产生的杂散光影响，构建了周期结构模型，分析了表面周期性纹理结构对衍射杂散光的影响。利用傅里叶光学理论建立了该结构的衍射理论模型，计算了在不同深度下的衍射光场强度分布规律，所获得的理论结果与商业光学软件VirtualLab的物理光学仿真和实验测试结果基本一致，实现了对理论模型的理论与实验验证，为进一步解决该类光学器件中周期性加工刀纹产生的衍射杂散光问题提供了理论依据，对微柱透镜的高精度加工具有指导意义。
引用本文（GB/T 7714）
孙昊 Sun Hao, 唐乐 Tang Le, 王春艳 Wang Chunyan, 等. 微柱镜面周期性纹理结构衍射杂散光研究[J]. Chinese Journal of Lasers, 2024.
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