基于归一化的高精度EUV反射率测试技术研究
摘要
基于使用气体放电等离子体（DPP）极紫外（EUV）光源自研的小型反射率测试装置，分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响，提出了一种能量归一化的反射率测试方法，并测试了13.5 nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结果表明：在相同光源参数下，SXUV100型探测器的极紫外能量探测性能优于AXUV100G型；通过归一化使光能量波动对反射率测试光束的波动误差从6.2%降低到0.64%，多层膜反射镜的峰值反射率的测量重复性从4.34%提高到0.69%，与国外同等实验装置精度相当，实现了高精度反射率测试，可为极紫外光刻机的光学元件提供反射率测试。
引用本文（GB/T 7714）
张良乐 Zhang Liangle, 韩晓泉 Han Xiaoquan, 谢婉露 Xie Wanlu, 等. 基于归一化的高精度EUV反射率测试技术研究[J]. Chinese Journal of Lasers, 2024.
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