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半导体硅上电沉积Ni-Pd-P薄膜及其结构
冰 刘、素薇 姚、鹤桐 郭、华堂 袁、允什 张
1999Chinese Journal of Applied ChemistryEngineering被引 1开放获取
摘要
PdP .P , P
引用本文（GB/T 7714）
冰 刘, 素薇 姚, 鹤桐 郭, 等. 半导体硅上电沉积Ni-Pd-P薄膜及其结构[J]. Chinese Journal of Applied Chemistry, 1999.
DOI：https://doi.org/10.3724/j.issn.1000-0518.1999.1.16
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