基于外置光阑针孔相机的高精度偏折测量技术

叶璐 YE Lu、张祥朝 ZHANG Xiangchao、王军华 WANG Junhua、徐敏 XU Min、郑列华 Zheng Liehua

2023ACTA PHOTONICA SINICAComputer Science被引 1

摘要

设计了一种外置光阑的针孔相机镜头,可免去传统方法复杂的相机标定过程,采用影像仪和三坐标测量机实现测量系统各元件空间位置的几何标定,并依靠相移算法实现屏幕与相机像素的精准匹配。实验结果表明,本文提出的偏折测量结果与干涉仪测试结果偏差优于20 nm RMS,可满足光学镜面加工研磨阶段到抛光阶段的过渡测量需求,为光学加工车间提供了可靠、经济、高效的面型评估,具有广泛的应用前景。

引用本文（GB/T 7714）

叶璐 YE Lu, 张祥朝 ZHANG Xiangchao, 王军华 WANG Junhua, 等. 基于外置光阑针孔相机的高精度偏折测量技术[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2023.

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DOI：https://doi.org/10.3788/gzxb20235212.1212003

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