飞秒激光减材法制备透明材料内部三维微纳连通结构研究进展
摘要
随着通信、医学、化学、分析等领域的不断发展，微全分析系统、芯片实验室、微机电系统、高精度微纳器件开始出现并得到应用，这些系统或结构部分通过飞秒激光在透明材料内部制备三维微纳连通结构来实现。为此，本文介绍了飞秒激光制备透明材料内部三维微纳结构的主要技术，列举了三维微纳连通结构的主要应用，分析了当前飞秒激光制备三维微纳连通结构存在的问题，并对该技术未来发展趋势进行了展望。
引用本文（GB/T 7714）
燕超月 Yan Chaoyue, 孙盛芝 Sun Shengzhi, 刘小峰 Liu Xiaofeng, 等. 飞秒激光减材法制备透明材料内部三维微纳连通结构研究进展[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2023.
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