基于聚二甲基硅氧烷增敏的级联双腔温度传感器

杨玉强 Yang Yuqiang、高佳乐 Gao Jiale、牟小光 Mu Xiaoguang、王骥 Wang Ji、杨文虎 Yang Wenhu、李依潼 Li Yitong、王楚虹 Wang Chuhong

2023Acta Optica SinicaEngineering被引 6开放获取

摘要

提出并制备了一种基于聚二甲基硅氧烷（PDMS）增敏的级联双腔温度传感器，该传感器由PDMS腔和空气腔级联而成，且级联双腔的光程相近，从而干涉谱产生游标效应。此外，空气腔的两端均为PDMS，当温度增加时，空气腔两端的PDMS因膨胀同时挤压空气腔，大幅提高了空气腔的温度响应。在PDMS膨胀和游标效应的双重作用下，该传感器具有非常高的温度灵敏度。实验结果表明，在40~42 ℃范围内，传感器的温度灵敏度约为-20.55 nm /℃，相比单个PDMS腔提高了37倍。该传感器具有结构紧凑、灵敏度高、稳定性好等优点，具有很好的应用前景。

引用本文（GB/T 7714）

杨玉强 Yang Yuqiang, 高佳乐 Gao Jiale, 牟小光 Mu Xiaoguang, 等. 基于聚二甲基硅氧烷增敏的级联双腔温度传感器[J]. Acta Optica Sinica, 2023.

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DOI：https://doi.org/10.3788/aos230442

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