基于铌酸锂薄膜的低损耗切趾光栅耦合器

刘亚康 Liu Yakang、佘玄 She Xuan、刘红硕 Liu Hongshuo、黄飞 Huang Fei、陈侃 Chen Kan、毕然 Bi Ran、王磊 Wang Lei、舒晓武 Shu Xiaowu

2023Acta Optica SinicaEngineering被引 5开放获取

摘要

基于铌酸锂薄膜提出了一种新型的低损耗切趾光栅设计方案，在线性改变填充因子的同时根据布拉格条件对每个光栅周期进行调控。此方案不仅提高了向上衍射效率，还增加了向上衍射模斑和单模光纤模斑的重叠积分，极大地提高了耦合效率。1550 nm处对于TE模式耦合效率达到81.3%（0.90 dB），是目前已报道的基于无反射层铌酸锂薄膜的光栅耦合器设计方案中耦合效率最高的。考虑到实际工艺下波导存在刻蚀倾角，基于合理推广的布拉格条件同样对光栅周期进行调控，优化了带刻蚀倾角的切趾耦合光栅，耦合效率高达60.0%（2.22 dB）。

引用本文（GB/T 7714）

刘亚康 Liu Yakang, 佘玄 She Xuan, 刘红硕 Liu Hongshuo, 等. 基于铌酸锂薄膜的低损耗切趾光栅耦合器[J]. Acta Optica Sinica, 2023.

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DOI：https://doi.org/10.3788/aos230650

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