激光差动共焦干涉高精度测量技术及仪器
摘要
球面光学元件的曲率半径、厚度、折射率、焦距和面形等多参数的高精度检测是光学元件超精密制造的迫切需求，但现有测量方法受层析定焦能力、抗散射能力及抗环境扰动能力的制约，难以实现上述参数的高精度共基准测量。为此，本团队提出了高层析、高分辨、抗散射和抗干扰的激光差动共焦多参数高精度共基准测量方法，并进一步与菲索干涉光路融合，实现了球面元件多参数的高精度、共基准、高效率测量。本文系统地介绍了所提出的激光差动共焦干涉元件参数系列测量方法及其仪器化研究进展，分析了目前存在的问题，展望了未来的发展趋势。
引用本文（GB/T 7714）
杨帅 Yang Shuai, 邱丽荣 Qiu Lirong, 汤亮 Tang Liang, 等. 激光差动共焦干涉高精度测量技术及仪器[J]. Acta Optica Sinica, 2023.
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