激光诱导薄膜材料二维图案化纳米加工技术（特邀）
摘要
激光诱导周期性表面结构（Laser-Induced Periodic Surface Structures，LIPSS）是一种在激光辐照下自发生成的超衍射极限结构，但其结构类型较为单一。提出了一种新型的二维图案化激光纳米加工方法，通过同时利用激光诱导的热效应及表面等离激元干涉，在正交的两个方向上分别形成褶皱和LIPSS两种周期性结构。这种方法仅通过单步辐照就能在薄膜材料表面生成二维褶皱LIPSS，从而丰富LIPSS的结构类型。同时，通过调整加工材料的膜厚或基底，以及改变入射激光波长或角度，可以分别调制二维纳米结构在两个正交方向上的周期。此外，通过激光偏振也可以调控该结构的取向。该方法能够进一步拓宽基于LIPSS的可加工表面纳米结构的种类及应用。
引用本文（GB/T 7714）
黄佳旭 HUANG Jiaxu, Jun Li, 邱佩 QIU Pei, 等. 激光诱导薄膜材料二维图案化纳米加工技术（特邀）[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2023.
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