基于飞秒激光自调制的高数值孔径微透镜阵列制备
摘要
针对硬质材料高数值孔径（NA）微透镜阵列制备难的问题，提出一种基于像差的自调制激光加工方法。该方法将飞秒激光聚焦于石英衬底的下表面，能够实现对激光焦点的纵向拉伸，结合氢氟酸溶液湿法刻蚀实现了具有高数值孔径微透镜的制备。结果表明，利用该技术通过改变单脉冲能量能够对微透镜形貌进行调控，在此基础上进一步优化离焦位置，有效地增大了微透镜的数值孔径，制备出达到理论极限（NAmax=0.46）的高数值孔径石英微透镜。相对于传统的正面加工方法，所提方法方式不仅提升了微透镜的数值孔径，而且无需复杂的光调制系统，对于高性能硬质材料微透镜阵列的制备与实际应用具有重要的意义。
引用本文（GB/T 7714）
苑欣然 Yuan Xinran, 邓景扬 Deng Jingyang, 徐地华 Xu Dihua, 等. 基于飞秒激光自调制的高数值孔径微透镜阵列制备[J]. Acta Optica Sinica, 2023.
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