介质超构表面的CMOS兼容制备工艺的进展
摘要
超构表面为纳米光子器件赋予了更高的自由度与灵活度，使实用的微纳米光子器件的实现成为可能。基于高折射率半导体材料的介质超构表面制备技术可以和半导体集成电路的制作工艺结合，有希望在攻克超构表面大面积和高通量制备技术难题上发挥重要的作用，因此对其光场调控性能和制备工艺的研究是该领域近年来的重要发展方向。本文从硅、氮化硅和二氧化钛等介质超构表面出发，介绍了超构表面高通量制造技术的发展。此外，介绍了基于大面积制造技术实现实际应用的基于纳米光子器件的光学器件，如显示、成像、光调控器件。
引用本文（GB/T 7714）
张弛 Zhang Chi, 肖淑敏 Xiao Shumin. 介质超构表面的CMOS兼容制备工艺的进展[J]. Acta Optica Sinica, 2023.
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