高速异型掺杂的硅基槽波导调制器
摘要
针对硅基单端推挽调制器的pn结结电容大、调制效率低的问题，设计出一种基于异型掺杂和槽波导结构的硅基调制器。通过槽波导结构和L型掺杂增大了耗尽区与光场相互作用，与传统脊波导相比，在相同调制效率下，槽波导的结电容降低了24%，带宽提高了32%。采用T型轨道的电极实现阻抗和折射率的匹配，4 V偏压下调制带宽达到42 GHz，实现了峰峰值电压Vpp=2 V驱动下70 Gbit/s的OOK信号调制，眼图消光比达5.2 dB。
引用本文（GB/T 7714）
袁华江 Yuan Huajiang, 孙崇磊 Sun Chonglei, 赵佳 Zhao Jia. 高速异型掺杂的硅基槽波导调制器[J]. Acta Optica Sinica, 2023.
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