抑制光学系统中杂散光的非对称微结构的设计与加工
摘要
为抑制光学系统内部的杂散光反射，设计了一种具有非对称特征的新型微结构。该微结构通过减少镜面反射的方式，防止外部杂散光到达光学系统像面位置。为实现对非对称微结构的激光高速加工制备，提出了激光振镜加工系统进行倾斜加工的新方式。设计了新型的高速激光加工平台，制备了非对称的铝基微结构，并搭建了镜面反射测试实验和仿真综合实验对样品进行对比测试。结果表明，加工样品对杂散光具有良好的抑制效果。当设定入射角度为15°、照明光束为650 nm激光时，该微结构与常规的阳极氧化表面相比，抑制杂散光的性能提高了10倍，相对反射率仅为0.008%。
引用本文（GB/T 7714）
邵晶 Shao Jing, 李卓 LI Zhuo, 聂真威 Nie Zhenwei, 等. 抑制光学系统中杂散光的非对称微结构的设计与加工[J]. Acta Optica Sinica, 2023.
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