三维表面形貌测量中的共聚焦显微成像技术研究进展
摘要
随着精密仪器制造和半导体加工产业的蓬勃发展，对微小结构表面形貌的观察和测量是现代科学研究的一个重要方向。激光扫描共聚焦显微成像技术因高分辨率、高信噪比和优秀的层切能力在三维表面形貌测量领域备受青睐。介绍共聚焦显微成像技术的基本原理，并对适用于三维表面形貌测量领域的共聚焦显微成像方法进行综述，包括共聚焦成像的不同扫描方法、不同探测手段及基于光谱的共聚焦成像技术。最后，对共聚焦显微成像技术未来的发展趋势进行展望。
引用本文（GB/T 7714）
王玥颖 Wang Yueying, 刘旭 Liu Xu, Xiang Hao. 三维表面形貌测量中的共聚焦显微成像技术研究进展[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2023.
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