用于悬浮光力系统的低噪声四象限探测器研究
摘要
悬浮光力系统由于其出色的探测性能，已成为精密测量领域的研究热点。目前悬浮光力系统的探测方案主要包括平衡探测器方案和四象限探测器方案。平衡探测器噪声性能优越，但单个探测器只能测量一个方向的悬浮微粒位移信息，探测系统复杂。四象限探测器方案仅使用单个探测器即可同时探测微粒的三轴位移信息，探测系统简单，但噪声性能较差。本文根据悬浮光力系统的需求，设计了一种四象限探测器，实现了105量级跨阻增益，电学噪声达到商用平衡探测器水平，共模抑制比优于45 dB（50~250 kHz），且入射光功率大于1 mW时，噪声性能只受散粒噪声限制。实验表明，该四象限探测器方案可替代平衡探测器方案，使探测系统小型化，并能很好地满足高探测灵敏度的需求。
引用本文（GB/T 7714）
王颖颖 Wang Yingying, 何沛彤 He Peitong, 梁韬 Liang Tao, 等. 用于悬浮光力系统的低噪声四象限探测器研究[J]. Acta Optica Sinica, 2023.
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