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对称负极芯片结构改善硅基激光器性能研究

马博杰 Ma Bojie王俊 Wang Jun刘昊 Liu Hao江晨 Jiang Chen刘倬良 Liu Zhuoliang翟浩 Zhai Hao李健 Li Jian明蕊 Ming Rui

2023Chinese Journal of LasersEngineering被引 4开放获取

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摘要

本课题组设计了一种用于硅基外延激光器的对称负极芯片结构,与传统共面电极芯片结构相比,该结构大幅降低了硅基激光器的微分电阻,使激光器性能显著提升。采用该电极结构以及基于无偏角Si(001)衬底的量子点激光器外延材料进行了激光器芯片制作。芯片尺寸为1500 μm×50 μm的激光器的微分电阻仅为1.52 Ω,单面输出光功率可达70 mW。实验结果表明:相比于传统共面电极芯片结构,该芯片结构可将器件的微分电阻降低约75%;当注入电流从1.2倍阈值电流增大到2.8倍阈值电流时,激射波长红移量减少了约77%,特征温度由27.2 K提高到43.4 K,斜率效率增大了约26.4%,最大光电转换效率增大了约4.7倍。所设计的芯片结构方案为制作高性能硅基外延激光器提供了一种优化的技术途径。

引用本文(GB/T 7714)

马博杰 Ma Bojie, 王俊 Wang Jun, 刘昊 Liu Hao, 等. 对称负极芯片结构改善硅基激光器性能研究[J]. Chinese Journal of Lasers, 2023.

引文网络

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DOI:https://doi.org/10.3788/cjl221277

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