定量相位成像技术在超快激光加工检测中的应用
摘要
采用定量相位成像技术对飞秒激光在玻璃材料内部加工的空腔结构进行定量相位成像检测。首先通过改变飞秒激光的脉冲能量在玻璃内部制作了不同结构的空腔，然后使用定量相位成像装置对样品进行了成像表征。结果显示：定量相位成像技术在对内部空腔进行成像的同时，还可以探测到玻璃空腔周围光学性质改变的区域。研究了玻璃内部有无掺杂对加工结果的影响，并分析总结了飞秒激光在玻璃内部加工的三维模型。定量相位成像技术既可以对样品进行无损检测，有效提高样品的检测效率，又可以定量测量样品的光学特性，因此，该技术在激光加工检测领域中具有广阔的应用前景。
引用本文（GB/T 7714）
李昌恒 Li Changheng, 崔省伟 Cui Shengwei, 姚晓天 Yao X. Steve. 定量相位成像技术在超快激光加工检测中的应用[J]. Chinese Journal of Lasers, 2023.
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