一种采用双球面反射补偿检测高次非球面的研究
摘要
为了完成大口径高次非球面的面形精度检测，提出一种双球面反射式补偿检测系统设计方法。选择与边缘相切的球面为最佳比较球面，拟合出外径为860 mm、中孔为200 mm的高次非球面镜的非球面梯度与法线像差。基于三级像差理论推导补偿检测系统公式，计算出初始参数分析补偿效果并改进优化得到最终结构。经光学软件仿真模拟系统波前差均方根（RMS）小于1/90λ，经过公差分析，98%结果波前差RMS小于1/40λ，满足实际检测要求。该方法能够解决待检高次非球面镜无法检测的难题。
引用本文（GB/T 7714）
白茜 Bai Qian, 张煜邦 Zhang Yubang, 胡明勇 Hu Mingyong, 等. 一种采用双球面反射补偿检测高次非球面的研究[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2023.
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