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用于表面形貌测量的扫描白光干涉技术进展
苏榕 Su Rong、刘嘉宇 Liu Jiayu、Xiaoyue Qiao、简振雄 Jian Zhenxiong、张政 Zhang Zheng、温荣贤 Wen Rongxian、陈成 Chen Cheng、任明俊 Ren Mingjun
2023Laser & Optoelectronics ProgressEngineering被引 9开放获取
摘要
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引用本文（GB/T 7714）
苏榕 Su Rong, 刘嘉宇 Liu Jiayu, Xiaoyue Qiao, 等. 用于表面形貌测量的扫描白光干涉技术进展[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2023.
DOI：https://doi.org/10.3788/lop223228
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