平面反射式二维光栅测量系统研究
摘要
针对超精密运动台的二维亚微米级精度同步测量需求，提出并建立了平面反射式二维光栅测量系统，研究了平面反射式二维光栅的平面位移同步测量方法，分析了平面反射式二维光栅测量系统的误差传递模型。通过Vold-Kalman滤波算法，对光栅信号中存在的高次谐波误差、幅值/相位误差进行实时修正和滤除。采用反正切细分算法和周期测量法对光栅正交脉冲的频率进行测量，实现对被测目标的高分辨率测量和实时运动速度测量。同时，构建了亚微米级测量精度的平面反射式二维光栅测量系统，测量范围为500 mm×500 mm，x、y方向的定位精度为±0.3 μm，测量分辨率为0.005 μm。
引用本文（GB/T 7714）
刘红忠 Liu Hongzhong, 史永胜 Shi Yongsheng, 尹磊 Yin Lei, 等. 平面反射式二维光栅测量系统研究[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2023.
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