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亚纳米皮米激光干涉位移测量技术与仪器
林雄磊 Lin Xionglei、苏晓博 Su Xiaobo、王嘉宁 Wang Jianing、孙云科 Sun Yunke、胡鹏程 Hu Pengcheng
2023Laser & Optoelectronics ProgressEngineering被引 7
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引用本文（GB/T 7714）
林雄磊 Lin Xionglei, 苏晓博 Su Xiaobo, 王嘉宁 Wang Jianing, 等. 亚纳米皮米激光干涉位移测量技术与仪器[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2023.
DOI：https://doi.org/10.3788/lop230440
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