大视场大数值孔径显微物镜光学设计
摘要
在纳米激光直写加工系统中，显微物镜是其中的关键部件，行业发展的趋势是在大数值孔径（NA）下具有更大的物方视场，并且能适应双光子聚合（Two-photon polymerization，TPP）胶折射率的变化。对比当前TPP效应研究所用显微物镜的指标，挖掘了物方视场、NA和镜片数的关系，并提出物镜的合成敏感度指标（Synthetic sensitivity index，Iss）。结合Iss设计了一款波段为500~800 nm、NA大于1.3、物方视场为1.0 mm的显微物镜。该物镜的设计结果为，调制传递函数曲线接近衍射极限，波像差均方根小于0.07λ，以内调焦方式来适应TPP胶折射率的变化。公差分析表明该设计结果具有可行性。
引用本文（GB/T 7714）
黄木旺 Huang Muwang, 刘旭 Liu Xu, 林法官 Lin Faguan. 大视场大数值孔径显微物镜光学设计[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2023.
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