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基于傅里叶合成技术的光刻照明系统研究
李慧 Li Hui、吴晓斌 Wu Xiaobin、韩晓泉 Han Xiaoquan、马赫 Ma He、沙鹏飞 Sha Pengfei
2023Chinese Journal of LasersPhysics and Astronomy被引 3
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引用本文（GB/T 7714）
李慧 Li Hui, 吴晓斌 Wu Xiaobin, 韩晓泉 Han Xiaoquan, 等. 基于傅里叶合成技术的光刻照明系统研究[J]. Chinese Journal of Lasers, 2023.
DOI：https://doi.org/10.3788/cjl221221
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