MEMS压力传感器原理与应用
摘要
随着经济的快速发展以及科学的进步，传感技术在各个领域上都有涉及，其中MEMS传感器与智能传感 器作为传感方面的先进技术之一，近年来，结合了很多创新成果，尤其是仿生机器人、微型飞行器的问世，为人类的 健康以及科技创新，提供了有效的信息支持，并受到了人们的广泛关注，国内外均有关于相关技术研究，应用于很多 人们的生活领域中，为人们的生活带来的便捷，所以，未来发展趋势以及发展方向，更加新颖化、便捷化、精简化。
引用本文（GB/T 7714）
张林伟. MEMS压力传感器原理与应用[J]. 机械与电子控制工程, 2022.
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