基于预训练VGG11模型的光刻坏点检测方法
摘要
模型性能表现和模型训练时间影响着基于迁移学习坏点检测方法的应用，而选用模型和迁移学习策略是模型性能表现和模型训练时间的重要影响因素。提出了一种基于预训练VGG11模型的坏点检测方法，通过微调基于ImageNet数据集预训练的VGG11模型获得坏点检测的待训练模型。采用保留预训练模型权重、冻结卷积层的策略进行模型训练，采用ICCAD 2012数据集进行模型训练和测试。与现有方法相比，所提方法的模型综合性能表现更好，所需的模型训练时间更少。所提方法有助于提高掩模版图的坏点检测效率，缩短集成电路生产的周期。
引用本文（GB/T 7714）
廖陆峰 Liao Lufeng, 李思坤 Li Sikun, 王向朝 Wang Xiangzhao. 基于预训练VGG11模型的光刻坏点检测方法[J]. Acta Optica Sinica, 2023.
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