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极紫外光刻光源驱动激光光斑高精度检测技术研究
李鑫鹏 Li Xinpeng、于德洋 Yu Deyang、郭劲 Guo Jin、陈飞 Chen Fei、潘其坤 Pan Qikun
2023Chinese Journal of LasersEngineering被引 4
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引用本文（GB/T 7714）
李鑫鹏 Li Xinpeng, 于德洋 Yu Deyang, 郭劲 Guo Jin, 等. 极紫外光刻光源驱动激光光斑高精度检测技术研究[J]. Chinese Journal of Lasers, 2023.
DOI：https://doi.org/10.3788/cjl220686
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