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亚10纳米超薄金属膜:制备、光学性质及应用

胡元飞 Hu Yuanfei郑俊榕 Zheng Junrong尤恩铭 You Enming丁松园 Ding Songyuan

2023Chinese Journal of LasersEngineering被引 3开放获取

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摘要

当金属膜厚度降低到几个纳米尺度时,其光学性质与体相金属显著不同,如具有宽波段红外高吸收率、可电调控的等离激元和较强的非线性光学响应等。然而金属膜在电介质衬底上的润湿性较差,其在生长初期以岛状生长模式为主,难以生长成连续的超薄膜。首先介绍了超薄金属膜的介电函数理论。随后综述了制备超薄金属膜的主要方法,包括种子层法、有机修饰法、共沉积法和低温沉积法。接着介绍了超薄金属膜的光学性质及应用。最后从制备工艺、应用等方面展望了超薄金属膜相关研究的发展方向。

引用本文(GB/T 7714)

胡元飞 Hu Yuanfei, 郑俊榕 Zheng Junrong, 尤恩铭 You Enming, 等. 亚10纳米超薄金属膜:制备、光学性质及应用[J]. Chinese Journal of Lasers, 2023.

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DOI:https://doi.org/10.3788/cjl221180

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