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基于Pt/GaN/AlGaN异质结高响应度双波段紫外探测器

Gang Wu唐利斌 Tang Libin郝群 Hao Qun邓功荣 Deng Gongrong张逸韵 Zhang Yiyun秦强 Qin Qiang袁绶章 Yuan Shouzhang王静宇 Wang Jingyu

2023Acta Optica SinicaPhysics and Astronomy被引 5开放获取

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摘要

提出一种在AlGaN基 PIN 器件的p-GaN表面上沉积Pt,形成肖特基势垒(SB)-PIN 异质结器件,器件的能带和载流子的输运发生了变化,这种新型光电探测器实现了双波段紫外探测,可分别工作在光伏和光电导模式下。器件在 275 nm波长的紫外光照射的负偏置电压下,工作模式为光伏探测,当入射光功率密度为 100 μW/cm2,偏置电压为-10 V时,器件得到最大响应度(0.12 A/W);当偏置电压为-0.5 V时,器件得到最大探测率(1.0×1013 cm·Hz1/2·W-1)。器件在正偏置电压工作模式下可作为高响应、高增益的光电导探测器,当偏置电压为+10 V 时,用275 nm 和365 nm 波长的紫外光照射(光功率密度为100 μW/cm2),器件的响应度分别为10 A/W 和14 A/W,外量子效率分别为4500%和 4890%。所设计的双波段多功能器件将极大地扩展基于AlGaN的紫外探测器的用途。

引用本文(GB/T 7714)

Gang Wu, 唐利斌 Tang Libin, 郝群 Hao Qun, 等. 基于Pt/GaN/AlGaN异质结高响应度双波段紫外探测器[J]. Acta Optica Sinica, 2023.

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DOI:https://doi.org/10.3788/aos221312

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