可调谐垂直腔面发射激光器支撑结构优化设计
摘要
基于微机电系统（MEMS）的850 nm可调谐垂直腔面发射激光器（VCSEL），设计了一种双曲线梁结构，以提升器件机械和调谐特性。通过分析传统等截面梁结构的受力情况，提出了双曲线结构优化设计，将梁结构端面的面积增大从而降低最大应力。理论仿真结果表明：优化后器件上反射镜的最大偏移量基本保持不变，支撑梁上下表面的最大应力分别降低了23.4%和17.0%，谐振频率增大了7.9%；当MEMS-VCSEL分别为半导体腔主导（SCD）结构和空气腔主导（ACD）结构时，波长调谐范围分别为16.6 nm和42 nm。该优化方式的优势在于不需要改变激光器的结构，同时可与其他优化方式兼容，具有一定的应用前景。
引用本文（GB/T 7714）
吕家纲 Jiagang Lü, Wei Li, 戚宇轩 Qi Yuxuan, 等. 可调谐垂直腔面发射激光器支撑结构优化设计[J]. Acta Optica Sinica, 2023.
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