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硅基二氧化硅20通道循环型阵列波导光栅制备
张家顺 ZHANG Jiashun、安俊明 AN Junming、孙冰丽 SUN Bingli、陈军 CHEN Jun、胡炎彰 HU Yanzhang、单崇新 SHAN Chongxin
2022ACTA PHOTONICA SINICAEngineering被引 3
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引用本文（GB/T 7714）
张家顺 ZHANG Jiashun, 安俊明 AN Junming, 孙冰丽 SUN Bingli, 等. 硅基二氧化硅20通道循环型阵列波导光栅制备[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/gzxb20225106.0623003
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