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基于石英MEMS技术的光纤法布里-珀罗高温压力传感器
李加顺 LI Jiashun、贾平岗 JIA Pinggang、王军 WANG Jun、刘佳 LIU Jia、安国文 AN Guowen、熊继军 XIONG Jijun
2022ACTA PHOTONICA SINICAEngineering被引 2
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引用本文（GB/T 7714）
李加顺 LI Jiashun, 贾平岗 JIA Pinggang, 王军 WANG Jun, 等. 基于石英MEMS技术的光纤法布里-珀罗高温压力传感器[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/gzxb20225106.0606005
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