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基于微焦点X射线光栅干涉仪的波前传感与面形测量技术
Shuai Zhao、王秋平 Wang Qiuping、Lei Zhang、王克逸 Wang Keyi
2022Acta Optica SinicaEngineering被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
Shuai Zhao, 王秋平 Wang Qiuping, Lei Zhang, 等. 基于微焦点X射线光栅干涉仪的波前传感与面形测量技术[J]. Acta Optica Sinica, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos202242.2334002
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