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低相干干涉高深宽比结构高度检测信号处理技术
孙一峰 SUN Yifeng、高志山 GAO Zhishan、范筱昕 FAN Xiaoxin、张佳乐 ZHANG Jiale、马剑秋 MA Jianqiu、袁群 YUAN Qun
2022ACTA PHOTONICA SINICAEngineering被引 2
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引用本文（GB/T 7714）
孙一峰 SUN Yifeng, 高志山 GAO Zhishan, 范筱昕 FAN Xiaoxin, 等. 低相干干涉高深宽比结构高度检测信号处理技术[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/gzxb20225109.0912001
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