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压电陶瓷锁焦性能对光刻曝光均匀性的影响
郑金轮 Zheng Jinlun、魏劲松 Wei Jingsong
2022Acta Optica SinicaEngineering被引 2
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引用本文（GB/T 7714）
郑金轮 Zheng Jinlun, 魏劲松 Wei Jingsong. 压电陶瓷锁焦性能对光刻曝光均匀性的影响[J]. Acta Optica Sinica, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos202242.1914001
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