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基于光学三角法的芯片凸点高度测量
王棚 WANG Peng、孟繁昌 MENG Fanchang、张滋黎 ZHANG Zili、王德钊 WANG Dezhao、王珊 WANG Shan、姚恩涛 YAO Entao、王磊 WANG Lei、叶瑞乾 YE Ruiqian
2022ACTA PHOTONICA SINICAEngineering被引 4
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引用本文（GB/T 7714）
王棚 WANG Peng, 孟繁昌 MENG Fanchang, 张滋黎 ZHANG Zili, 等. 基于光学三角法的芯片凸点高度测量[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/gzxb20225105.0512001
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