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具有Cr阻挡层的GaAs欧姆接触工艺研究
李博 Li Bo、李辉 Li Hui、李晓雪 Li Xiaoxue、闫昊 Yan Hao、郝永芹 Hao Yongqin
2022Chinese Journal of LasersEngineering被引 1
摘要
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引用本文（GB/T 7714）
李博 Li Bo, 李辉 Li Hui, 李晓雪 Li Xiaoxue, 等. 具有Cr阻挡层的GaAs欧姆接触工艺研究[J]. Chinese Journal of Lasers, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/cjl202249.1103001
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