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超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器
杨宏兴 Yang Hongxing、付海金 Fu Haijin、胡鹏程 Hu Pengcheng、杨睿韬 Yang Ruitao、Xing Xu、于亮 Yu Liang、常笛 Chang Di、谭久彬 Tan Jiubin
2022Laser & Optoelectronics ProgressEngineering被引 13
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引用本文（GB/T 7714）
杨宏兴 Yang Hongxing, 付海金 Fu Haijin, 胡鹏程 Hu Pengcheng, 等. 超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/lop202259.0922018
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