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基于太赫兹时域光谱技术的多层涂层高效可靠测厚方法
曹丙花 Cao Binghua、郑德栋 Zheng Dedong、范孟豹 Fan Mengbao、孙凤山 Sun Fengshan、刘林 Liu Lin
2022Acta Optica SinicaEngineering被引 6
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引用本文（GB/T 7714）
曹丙花 Cao Binghua, 郑德栋 Zheng Dedong, 范孟豹 Fan Mengbao, 等. 基于太赫兹时域光谱技术的多层涂层高效可靠测厚方法[J]. Acta Optica Sinica, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos202242.0112001
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