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MEMS法布里-珀罗滤波芯片及其光谱探测应用研究进展
周奎 Zhou Kui、单政 Shan Zheng、张倩 Zhang Qian、王谢君 Wang Xiejun、周健 Zhou Jian、邓宸伟 Deng Chenwei、虞益挺 Yu Yiting
2022Acta Optica SinicaEngineering被引 2
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引用本文（GB/T 7714）
周奎 Zhou Kui, 单政 Shan Zheng, 张倩 Zhang Qian, 等. MEMS法布里-珀罗滤波芯片及其光谱探测应用研究进展[J]. Acta Optica Sinica, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos202242.0800001
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