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面向有机薄膜晶体管的紫外/红外光退火的溶液法氧化锆薄膜性能研究
谢应涛 Xie Yingtao、蔡坤林 Cai Kunlin、陈鹏龙 Chen Penglong、刘愈 Liu Yu、王东平 Wang Dongping
2022Chinese Journal of LasersEngineering被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
谢应涛 Xie Yingtao, 蔡坤林 Cai Kunlin, 陈鹏龙 Chen Penglong, 等. 面向有机薄膜晶体管的紫外/红外光退火的溶液法氧化锆薄膜性能研究[J]. Chinese Journal of Lasers, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/cjl202249.0703001
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