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极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势
林楠 Lin Nan、杨文河 Yang Wenhe、陈韫懿 Chen Yunyi、魏鑫 Wei Xin、王成 Wang Cheng、赵娇玲 Zhao Jiaoling、彭宇杰 Peng Yujie、冷雨欣 Leng Yuxin
2022Laser & Optoelectronics ProgressEngineering被引 29
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引用本文（GB/T 7714）
林楠 Lin Nan, 杨文河 Yang Wenhe, 陈韫懿 Chen Yunyi, 等. 极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/lop202259.0922002
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