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氧气退火温度对室温脉冲激光沉积氧化镓薄膜特性的影响
王尘 Wang Chen、张宇超 Zhang Yuchao、范伟航 Fan Weihang、李世韦 Li Shiwei、张小英 Zhang Xiaoying、林海军 Lin Haijun、连水养 Lien Shuiyang、朱文章 Zhu Wenzhang
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引用本文（GB/T 7714）
王尘 Wang Chen, 张宇超 Zhang Yuchao, 范伟航 Fan Weihang, 等. 氧气退火温度对室温脉冲激光沉积氧化镓薄膜特性的影响[J]. Acta Optica Sinica, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos202242.0831001
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