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光刻机运动台控制方法研究进展
姜龙滨 Jiang Longbin、丁润泽 Ding Runze、丁晨阳 Ding Chenyang、杨晓峰 Yang Xiaofeng、徐云浪 Xu Yunlang
2022Laser & Optoelectronics Progress被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
姜龙滨 Jiang Longbin, 丁润泽 Ding Runze, 丁晨阳 Ding Chenyang, 等. 光刻机运动台控制方法研究进展[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/lop202259.0922003
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