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离轴抛物面镜离子束抛光工艺研究
孙国斌 Sun Guobin、蒋世磊 Jiang Shilei、张余豪 Zhang Yuhao、张进 Zhang Jin
2022Acta Optica SinicaEngineering被引 2
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引用本文（GB/T 7714）
孙国斌 Sun Guobin, 蒋世磊 Jiang Shilei, 张余豪 Zhang Yuhao, 等. 离轴抛物面镜离子束抛光工艺研究[J]. Acta Optica Sinica, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos202242.0922003
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