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光刻机照明系统中继镜组的光场均匀性优化设计
龚爽 GONG Shuang、杨宝喜 YANG Baoxi、黄惠杰 Huang Huijie
2022ACTA PHOTONICA SINICAEngineering被引 3
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引用本文（GB/T 7714）
龚爽 GONG Shuang, 杨宝喜 YANG Baoxi, 黄惠杰 Huang Huijie. 光刻机照明系统中继镜组的光场均匀性优化设计[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/gzxb20225103.0322001
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