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亚十纳米导向自组装与深紫外混合光刻技术
Zili Li、Xiaohua Hu、熊诗圣 Xiong Shisheng
2022Laser & Optoelectronics ProgressEngineering被引 5
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引用本文（GB/T 7714）
Zili Li, Xiaohua Hu, 熊诗圣 Xiong Shisheng. 亚十纳米导向自组装与深紫外混合光刻技术[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/lop202259.0922027
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