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光刻技术中的聚焦控制
李世光 Li Shiguang、郭磊 Guo Lei、曾海峰 Zeng Haifeng、戢逸云 Ji Yiyun、王寅 Wang Yin、肖燕青 Xiao Yanqing
2022Laser & Optoelectronics Progress被引 2
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引用本文（GB/T 7714）
李世光 Li Shiguang, 郭磊 Guo Lei, 曾海峰 Zeng Haifeng, 等. 光刻技术中的聚焦控制[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/lop202259.0922016
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