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SixNy沉积参数对量子阱混杂效果的影响
王予晓 Wang Yuxiao、朱凌妮 Zhu Lingni、仲莉 Zhong Li、林楠 Lin Nan、刘素平 Liu Suping、马骁宇 Ma Xiaoyu
2022Acta Optica SinicaEngineering被引 2
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引用本文(GB/T 7714)
王予晓 Wang Yuxiao, 朱凌妮 Zhu Lingni, 仲莉 Zhong Li, 等. SixNy沉积参数对量子阱混杂效果的影响[J]. Acta Optica Sinica, 2022.
DOI:https://doi.org/10.3788/aos202242.1031003
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