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SixNy沉积参数对量子阱混杂效果的影响

王予晓 Wang Yuxiao朱凌妮 Zhu Lingni仲莉 Zhong Li林楠 Lin Nan刘素平 Liu Suping马骁宇 Ma Xiaoyu

2022Acta Optica SinicaEngineering被引 2

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引用本文(GB/T 7714)

王予晓 Wang Yuxiao, 朱凌妮 Zhu Lingni, 仲莉 Zhong Li, 等. SixNy沉积参数对量子阱混杂效果的影响[J]. Acta Optica Sinica, 2022.

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DOI:https://doi.org/10.3788/aos202242.1031003

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