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超表面结构MEMS红外超窄带光源研究
邹宇 ZOU Yu、蒋文静 JIANG Wenjing、欧文 OU Wen
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引用本文（GB/T 7714）
邹宇 ZOU Yu, 蒋文静 JIANG Wenjing, 欧文 OU Wen. 超表面结构MEMS红外超窄带光源研究[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/gzxb20225101.0151122
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