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基于小孔点衍射的超精面形瞬态干涉测量技术
张金鹏 ZHANG Jinpeng、高芬 GAO Fen、李兵 LI Bing
2022ACTA PHOTONICA SINICAEngineering被引 4
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引用本文（GB/T 7714）
张金鹏 ZHANG Jinpeng, 高芬 GAO Fen, 李兵 LI Bing. 基于小孔点衍射的超精面形瞬态干涉测量技术[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/gzxb20225104.0412004
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